校史故事 | 指导创建武汉半导体二厂和沙市晶体管厂——为武汉市和湖北省发展新兴工业做贡献的华师人

讲述人:李谟介,84岁,华中师范大学,退休教师

指导创建武汉半导体二厂

(建成锗合金扩散型晶体管生产线)

在武汉市政府的早期发展规划中,六十年代中叶武汉市要在新兴工业方面建立两个半导体器件厂。1966年初,市政府向华师提出了派遣专家指导兴建武汉半导体二厂的要求,于是物理系选派了一名半导体团队的教师带领四名毕业年级的学生承担了这一任务。

3月初,华师师生会同几名武汉市二轻局特别挑选来的青年工人(都只有十七八岁)开始了武汉半导体二厂的建设。

创建工厂首先要做出设备(当时人们都没有“购买成套设备”的意识,也没有可以购买的地方)。设计、制造这些生产性的设备大家都没有经验,实际上是走一步看一步。四、五套主力设备,老师一件一件地画出草图,交给工厂加工。部件加工好后大家便一起安装、调试。经过一个多月的努力,便建立了一个化学处理房,制成了一台扩散炉、一台烧结炉、一个焊接台和一台三极管特性测试仪,基本上构成了一个适应当时技术水平的Ge合金扩散型高频三极管小规模手工方式试生产系统。

设备做成后,马上就投入器件试制的战斗,不到一个星期第一批3AG11-14晶体管就做出来了。

这期间,大家一边建厂还要一边进行现场教学,除给所有参加工作的人员讲解相应设备的工作原理,老师还要对学生们讲一些半导体材料和器件的专业知识。

在设备安装调试和器件试制的几个星期里,师生们每天深夜两三点钟睡觉,清晨六点按时起床进行军体锻炼——做早操、练刺杀,因为那是一个“准备打仗”的年代。

四月中下旬,学校规定的时间到了,建厂的任务也已基本上完成,虽然市里希望师生们再留一段时间,以便让厂里的人员对技术掌握得熟练一点,可是学校要保证完成教学计划,所以大家带着支援地方建设和尝试高科技产业初战胜利的喜悦返回了学校。

指导创建沙市晶体管厂

(建成锗合金扩散型和硅平面工艺晶体管生产线)

完成武汉半导体二厂建厂任务后,校领导对物理系说:湖北省要在沙市建立电子工业基地,省科委认为华师兴建武汉半导体二厂的任务完成得很出色,所以,要求我们再去建立一个沙市晶体管厂。过了几天,省科委梁主任就在他的办公室给华师物理系半导体团队正式布置了去沙市建厂的任务。

1966年6月2日,师生们从武汉港乘客轮出发,船行了三天两夜,在4日的晚上才到达沙市(现在的荆州市沙市区)。船一靠岸,华新猪棕加工合作社的杨主任便把大家接到社里,当夜师生就睡在该社的猪棕加工车间(当时该社除了加工车间与原料、成品存放房外,没有办公室或其它干净的地方)。新华猪鬃社是当时少有的出口赚汇单位,隶属于市二轻局,因为有钱,所以市政府就将兴建晶体管厂的任务交由他们出资承担。第二天,大家便投入了建厂战斗。由于选定的厂房还没有改造完毕,所以,白天大家到二轻局党委办公室设计,到加工单位联系加工,晚上回猪棕社。在臭气袭人、虫蚊绕身的猪棕堆旁睡了五夜。第五天,张健副书记等市领导接见师生,得知大家还睡在猪棕社时,便责令局党委立即给师生们安排住房。此后,大家就住进了地处解放路的二轻局党委办公室。

不久,厂房改造好了。工作车间在二楼,华师师生睡觉在一楼,吃饭在离厂房大约二百米之遥的市干部疗养院。由于这个疗养院也承担着市委和市政府干部食堂的任务,所以,每天吃饭的时候都可以见到市里的领导干部,特别是晚餐的时候多数领导便会在那里集中。市委书记曹野同志就经常利用这个条件与大家交谈,每周至少有三、四天要端着饭碗和师生在小水塘边讨论工作进展和商量设备加工的事情(当时的食堂非常简陋,大家都围着桌子站着吃,所以没有特别的地方让大家坐下来讨论)。凡有重要的设备加工,他常常在深夜一两点钟的时候一个人跑到加工单位,查看工人在干活没有,相关的干部在不在场。

由于工作效率极高,所以到六月底,全套设备便已经制造出来,并且调试完毕。为了能够直观地检验即将做出的成果,我们特别安装了一台半导体收音机,准备配用自己做出的晶体管直观地进行验证。建厂筹备组决定在六月三十日正式开机试产,争取七月一日生产出第一批试成品,向党献礼。

“七一”凌晨,沙市的第一批晶体管胜利地诞生了。市委立即派汽车将老师接到市委安排的全市群众大会会场。八点整,不等主持人说话曹野同志就迫不及待地拉着通宵没有睡觉且一个多月没有刮胡子、理发的华师老师站到麦克风前,大声地向全市人民宣布:“从今天开始,沙市拥有自己的电子工业了!同志们听,(他打开半导体收音机,举到麦克风前面)这就是我们沙市生产的晶体管接收到的北京声音!让我们感谢华师,感谢华师的师生!”顿时全场欢呼起来,广场上红旗招展。

沙市的夏天,酷热难挡,厂房又座落在扬尘滚滚的沙石马路旁边。在缺乏空气净化条件和一般人尚无“空调”意识的二十世纪六十年代,为了尽量满足半导体对环境的超净要求,车间里不仅没有电扇,大家还密闭了所有的窗户,规定只在每日凌晨三点至五点换气两小时。为了保证清洁度,大家穿着的工作服被汗水湿透了也不能敞开衣扣、脱掉白帽。在这样的环境中,师生与工人每天都要工作十五、六小时,除了吃饭、睡觉走出车间以外,其它的时间都在车间里。有一次老师因为两天多没有合眼而晕倒了,但醒来后便又继续工作。

沙市晶体管厂艰苦创业的先进事迹很快在全国传播开来,《湖北日报》对其用近整版的篇幅作了专题报道,其中还特别肯定了华师的贡献。这是在那个特殊年代极为罕见的现象。

1967年1月上旬,完成任务后师生们回到了武汉。

1970年1月,正当全校师生员工奉命到大冶三山岛整党和接受贫下中农再教育时,学校的军宣队/工宣队指挥部接到了湖北省委组织部的借调令,要华师的半导体团队急赴沙市,再助沙市晶体管厂转型升级新建硅平面工艺生产线。遵照省委要求学校派去了我和方治元、傅德荣三人。后来,沙市市政府又调去了章慧敏、韩可芳和吴惠芳三位老师。

那时厂里已经有了一批技术能力很强的骨干,大家一起,自力更生陆续制造出了磨片与抛光机、清洗与化学腐蚀车间、氧化系统、光刻系统(包括匀胶、曝光、固化、显影、腐蚀、去胶等工艺设备)、扩散炉、蒸发台(即专用真空镀膜机)、划片机、热压和超声波焊接机、老化台、测试台等。除内圆切片机和封帽机是购买的外,整套生产设备大部分都是自制的。

硅平面工艺生产线建成后,便利用从北京求援来的光刻掩模版试制成功了3DK4中功率高频开关管。以后又接连试制出了3DK3、3DK7小功率高频开关管和3CT50-500A大功率硅可控器件,以及一种集成电路。

生产稳定下来后,有一天,一位从新疆某重要工程单位专程来的同志从厂里取走了一些军用级3DK7。当时这类器件在市面上是难见到的,那年头白菜约5分钱一斤,而该型晶体管则每只价格高达27元。

那时的生产条件极差,工作中基本上没有防护措施。有一次省里的一位领导干部到沙晶视察,走到光刻车间附近就惊奇地立即调头说:“这是什么地方,气味这么难闻……”其实,华师的老师和厂里的干部、工人每天有十多个小时都是在这充满甲苯、丙酮、四氯化碳、环己酮等有害气体的环境中几乎没有个人防护地工作的。

由于老师们的积极表现、实际贡献和“革命加拼命”的精神赢得了从厂里到市里,从工人到干部的一片赞扬,在沙市和荆州地区的积极分子代表大会上,华师人的事迹还被编排成文艺节目作了宣传演出。

到了年底,学校根据中央精神——高校在“教育革命”中要搞校办工厂,需要教师回校承担任务,所以于1970年年底老师们回到了学校。

老师们离开沙晶的那天,12月底的天气已经很冷了,可是在清晨,天还未亮,厂里便自发地聚集了几乎全厂的工人,在厂门前昏淡的街灯下夹道唱着“送君送到大路旁,君的恩情永不忘,工友乡亲心里亮,隔山隔水永相望……”表达他们感激与难舍的深情,直到老师们的汽车远离。

1970年,物理系还派出了邱永喜教授、叶盛修、陈耀东、姚建华、王统文、戴省吾、高孝达、周福梅等老师先后到武汉半导体二厂、武汉重型机床厂可控硅车间解决技术问题,并参加了在武汉无线电元件厂进行的武汉市拉单晶炉会战。


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